1、粗抽真空

將被干燥零件放入密閉真空干燥室內，利用粗真空系統在室溫下對其粗抽真空，使其內部壓力下降。（準備階段） 

2、加熱+蒸汽清洗

其次，粗真空系統對真空干燥室進行間斷性的抽真空操作，同時由蒸餾裝置將清洗液氣化成為高溫蒸氣，并使之依靠壓差流入真空干燥室，蒸氣遇到溫度較低的零件時發生液化，不斷沖洗清洗件，實現蒸氣清洗，同時液化熱將零件逐步加熱。（加熱清洗階段）

3、排液

在加熱的最后階段，氣液相變趨于平衡。此時，將干燥室中的沉積的液態碳氫溶劑通過排液的方式排除，以便在更高的真空下實現零件的完全干燥。

4、真空干燥

在真空干燥階段，由干燥真空系統對干燥室進行抽真空操作，由于此時干燥室中清洗液的蒸氣壓力高于周圍空間的壓力，也就是產品（工件）表面溫度大于此真空條件下殘留碳氫的最高沸點，液態的碳氫溶劑迅速氣化（突沸），并隨著真空系統排出干燥室，從而實現對產品的干燥。

碳氫蒸汽洗及干燥過程圖